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真空感应水平/垂直区熔定向凝固炉

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真空感应水平/垂直区熔定向凝固炉
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产品描述
参数

1.设备用途：采用高频感应加热，在真空或惰性气体保护下制备单晶和提纯材料的工艺设备。主要用于生产纯度很高的半导体、金属、合金、无机和有机化合物晶体。该系统可采用籽晶法生产单晶，也可采用液态金属冷却法LMC生产定向凝固柱状晶；

2.技术数据：

极限真空度（分子泵系统） 6.67x10-5Pa 压升率 0.67Pa/H
最高温度 2500℃ 最大原料棒尺寸 Dn20mmx200mm
高频感应电源最大功率 75KW 样品移动速度 0.001-1mm/s


2.1水平区熔和立式区熔两种结构；水平区熔采用水冷铜坩埚为容器，立式区熔为无坩埚直接区熔结构；
2.2炉体为立式U型结构，全不锈钢制造；
2.3传动机构为滑轨导向，伺服电机控制；
2.4PC+PLC控制系统实现设备的自动控制；
2.5双拉伸机构保证试样直线运动及转动平稳可靠；
2.6闭环区熔感应加热；
2.7选配LMC/HRS布里奇曼凝固系统；

3.技术规格：JVZM/L型；JVZM/H型；JVZM/HL型

 

 

 

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