金研新材料 金研新材料

金研新材料

imgboxbg
您现在的位置：
首页
/
产品展示
/
真空镀膜设备
/
多靶磁控溅射镀膜机
/
多靶磁控溅射镀膜机PVD

产品分类

分类出来

产品详情

浏览量:
1058

多靶磁控溅射镀膜机PVD

零售价
0.0
元
市场价
0.0
元
浏览量:
1058
所属分类
多靶磁控溅射镀膜机
产品编号
数量
-
+
库存:
0
1
主要项目 联系我们
产品描述
参数
1.设备用途

1.1用于各种金属薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、超晶格薄膜、集成光学薄膜、多层薄膜和薄膜器件的制备；
1.2广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备；

2.技术指标

真空度及抽速 溅射室极限真空度：≤6x10-5Pa(经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5x10-7Pa.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室35分钟可达到6x10-4 Pa；
系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；
真空获得及测量 复合分子泵+机械泵+超高真空插板阀。采用数显复合真空计测量：10-5Pa到大气压
真空室 真空室为圆筒形立式前开门结构，尺寸约Ф450mmx600mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行化学抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；手动前开门结构
磁控靶 进口2英寸永磁靶，3支，其中一支为强磁靶（溅射铁磁性材料）；射频与直流兼容；单独气动挡板。
样品 样品尺寸≤Φ100mm；可加热室温—600°C，热电偶闭环控制。5—10转/分连续可调，单独挡板，可加-200V偏压。
配套电源 直流电源500W，2台；射频电源（13.56MHz）500W,自动匹配：1台
气路 100SCCM（Ar）、50SCCM（O2）质量流量控制器
水冷系统 冷却循环水机组，制冷量3KW。相关分水器，阀门等。水路报警系统。
控制系统 自动或手动

 

 

 

扫二维码用手机看
未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加
上一个
多靶磁控溅射镀膜机（PVD）
下一个
无

相关产品

JVAM-1型非自耗电弧炉
JVAM-1型非自耗电弧炉
专门用于真空熔融、合金化反应性和高熔点金属材料，适合实验室、工厂用于材料研究、开发、质量控制等；　
JVAM-2型非自耗电弧炉
JVAM-2型非自耗电弧炉
专门用于真空熔融、合金化反应性和高熔点金属材料，适合实验室、工厂用于材料研究、开发、质量控制等；
JMSP-1真空感应甩带机
JMSP-1真空感应甩带机
在真空或超纯气氛保护下，以106 K/sec的快速冷却速度制备非晶/微晶薄带或薄片材料；
JMSP-2真空感应甩带机
JMSP-2真空感应甩带机
在真空或超纯气氛保护下，在高达106 K/sec的快速冷却速度下，制备非晶/微晶薄带或薄片材料。
JMSW-1型高真空感应甩丝机
JMSW-1型高真空感应甩丝机
该设备主要用于制备金属细丝，是集自动送料、感应熔炼、甩丝、收丝于一体的多功能高真空科学仪器,尤其适用于适用于非晶材料丝材的研究及实验工作。
JVIM-1型多功能真空感应熔铸炉
JVIM-1型多功能真空感应熔铸炉
真空（保护性气氛）镁合金、铜合金等感应熔炼；也可用于其它金属或非金属材料的熔融；
JVIM-2KG真空感应熔炼炉
JVIM-2KG真空感应熔炼炉
JVIM-2KG真空感应熔炼炉用于在真空或保护气氛的条件下，对钢、特种钢、铝/镁及合金、高温合金、精密合金、有色金属、稀土永磁材料等材料进行熔化浇铸成型，适合于实验室小型试样制备。
JVIM-5KG真空感应熔炼炉
JVIM-5KG真空感应熔炼炉
真空感应熔炼炉用于在真空或保护气氛的条件下，对钢、特种钢、铝/镁及合金、高温合金、精密合金、有色金属、稀土永磁材料等材料进行熔化浇铸成型。 兼具水冷铜模铸造、离心铸造功能。
JVIM-10KG真空感应熔炼炉
JVIM-10KG真空感应熔炼炉
真空感应熔炼炉用于在真空或保护气氛的条件下，对钢、特种钢、铝/镁及合金、高温合金、精密合金、有色金属、稀土永磁材料等材料进行熔化浇铸成型。 兼具水冷铜模铸造、离心铸造功能。

CONTACT INFORMATION

联系方式

沈阳市大东区东望北街东山206号

OFFICIAL ACCOUNTS

公众号

欢迎关注我们的官方网站

金研新材料

ONLINE MESSAGE

请您留言

留言应用名称：
客户留言
描述：
验证码

版权所有 © 沈阳金研新材料制备技术有限公司      备案号：辽ICP备16001020号      网站建设：中企动力 沈阳      本网站已支持IPv6