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多弧离子镀膜机

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多弧离子镀膜机

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数量
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库存:
1
产品描述
参数

1、 设备用途:用于在叶片、钻头等工件上镀制超硬膜而特殊设计的一种专用设备,其特点是薄膜附着力强、耐磨摩擦系数小,在科研与工业生产上应用广泛。

2.技术数据:

极限真空度(分子泵系统) 5.0×10-4Pa 压升率 0.33Pa/H
真空室尺寸 Ф560×600mm 加热温度 室温~700℃
控温精度 ±1℃ 样品公转转速连续可调 0-60RPM
负偏压 ≤ -1000V(脉冲) 氧气质量流量控制 0-50SCCM


2.1主真空室立式立式圆筒型真空室或U型真空室前开门,双层水冷。
2.2主真空室真空获得系统分子泵,机械泵,高真空气动挡板阀。
2.3多弧源:圆形,直径ø100靶材,数量可选
2.4转盘上可放置400个直径为Ф15mm的工件。
2.5设有固定式样品挡板一套。
2.6气路系统设有多路高精度氧气质量流量控制器

3.技术规格:JION-xxxx

 

 

 

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