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太阳能CIGS薄膜镀膜机

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太阳能CIGS薄膜镀膜机

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产品编号
数量
-
+
库存:
1
产品描述
参数

1、设备用途: 采用电子束一步蒸发法用于制备CIGS(铜铟镓硒)薄膜

2.技术数据:

基片尺寸 1100mm×1400mm 基片加热温度 300℃
工作真空度 6.7×10-4Pa    


2.1镀膜模式进片室+清洗室+镀膜室+缓冲室+出片室
2.2镀膜室EB蒸发源三个
2.3 EB蒸发源挡板三个
2.4膜厚修正机构二套
2.5控制方式PID可编程控,全自动

3.技术型号:JCIGS-1型

 

 

 

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